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全自动紫外双面开槽机

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全自动紫外双面开槽机
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全自动紫外双面开槽机

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技术规格 TH-8212
激光器 华日/SP紫外纳秒15W
加工速度 2000-3000mm/s
运用领域 晶圆表面开槽光刻
上下料方式 全自动模组
划片速度 2000-3000mm/s
对位方式 轮廓定位/模板匹配
视觉处理 灰度匹配
X轴移动范围 280mm
Y轴移动范围 180mm
θ轴 360deg
开槽深度 ≤10um
边缘毛刺 ≤5um
平台水平度 5-15um
激光器 华日/SP紫外纳秒15W
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硅钢片精密切割机
下一个
全自动晶圆裂片清边一体机

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